Un termine usato per descrivere una tecnica e uno strumento o la combinazione di strumenti che utilizzano x-radiation per l'analisi chimica e per l'ingrandimento dell'100–1000 diametri. La risoluzione possibile è circa 0,25 micrometro. Microscopia a raggi x è uno sviluppo relativamente recente tra le tecniche microscopiche. Il contrasto in raggi x immagine microscopica è causato variando attenuazione dei raggi x nel campione. Il vantaggio di raggi x microscopia è che essa produce informazioni quantitative chimici, oltre a informazioni strutturali, sugli oggetti, comprese quelle opache alla luce. è una tecnica analitica ultramicrochemical affidabile da quale quantità di elementi e pesi di campioni piccoli come 10 ⁻¹² a 10 ⁻¹⁴ g possono essere analizzati con un errore solo una piccola percentuale.