evaporazione

evaporazione

Il metodo comune usato per depositare materiali a film sottile; materiale da depositare è riscaldato sotto vuoto (10-6, 7-10 gamma Torr) finché non si scioglie e inizia di evaporazione; questo vapore si condensa su un substrato di raffreddamento all'interno della camera di evaporazione che formano pellicole sottili molto lisce e uniforme; non adatto per materiali di elevato punto di fusione; Metodo PVD di formazione del film sottile.

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Settore/Dominio: Semiconduttori
Categoria: Wafer di silicio
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